Serie PARAMOUNT
Fornisce potenza ripetibile leader del settore per applicazioni primarie al plasma.
Descrizione
I generatori di potenza RF Paramount combinano regolazione della frequenza, pulsazione e controllo digitale in modo completo.
- Controllo digitale completo per la risposta dinamica ai cambiamenti di plasma
- Frequenza personalizzabile da 400 kHz a 60 MHz e potenza da 100 W a 8 kW
- Funzioni avanzate per l’ottimizzazione e la sincronizzazione del controllo
Panoramica
Migliora lo sviluppo del tuo processo con una nuova attenzione alla flessibilità operativa.
I generatori Paramount® RF offrono ampie gamme di frequenza e potenza, supportano molteplici possibilità di integrazione e sono dotati di interfacce seriali o analogiche standard. L’architettura digitale della piattaforma Paramount fornisce una precisa gestione dell’alimentazione e semplifica l’integrazione di nuove funzioni, senza necessità di tempi di integrazione o modifiche hardware.
La potenza elevata e le prestazioni ripetibili si ottengono rilevando in tempo reale i cambiamenti del plasma. I limiti di protezione interna facilitano il funzionamento affidabile.
CARATTERISTICHE
- Controllo digitale completo
- Sintonizzazione della frequenza, pulsazioni e sincronizzazione degli impulsi
- Misurazione di potenza e impedenza in tempo reale
- Soppressione degli archi
- Sincronizzazione di fase (CEX)
