Generatore CRYSTAL AC
Potenza sinusoidale stabile a bassa frequenza, progettato per grandi applicazioni con grandi substrati che richiedono una fornitura di potenza precisa e affidabile.
Descrizione
Con una straordinaria stabilità, precisione e affidabilità, l’innovazione per le applicazioni a doppio magnetron basate sulla piattaforma Crystal sono utilizzate nell’era dell’alta tecnologia.
- Soluzione a singola unità
- Comunicazioni affidabili (Analog, Profibus, RS-232, 422, 485)
- Sistema di raffreddamento combinato acqua ed aria
Panoramica
Il controllo preciso della potenza è essenziale per i film sottili reattivi ad alta densità depositati per sputtering. Il generatore Crystal offre ai tecnici di processo e agli operatori una potenza rapida ma stabile, un rilevamento rapido dell’arco e un’energia dell’arco bassa, questo si traduce in una ripetibilità leader del settore, una maggiore produttività e una migliore resa.
Con il frazionamento delle potenze da 60 a 180 kW, gli alimentatori Crystal possono soddisfare le esigenze delle vostre applicazioni di deposizione basso emissive low-e. L’eccezionale stabilità, la flessibilità e la gestione e il recupero dell’arco hanno reso Crystal una unità unica nel settore.
CARATTERISTICHE
Modelli da 60, 100, 120, 150 e 180 kW
- Rilevamento e risposta arco veloci (scala in microsecondi)
- Ampia gamma di impedenze di uscita
- Adatto a tutti i processi (ZnO, SnO2, TiO2, AI203, Si3N4, Si, SiO2)
- Soluzione a unità singola: non sono necessari aggiustamenti hardware o delle impostazioni quando si cambiano i materiali sputtering
