Serie ASCENT AMS
Erogazione di potenza stabile in condizioni di arco estreme per films altamente ripetibili
Erogazione di potenza stabile in condizioni di arco estreme per films altamente ripetibili
Il generatore DC Advanced Energy offre prestazioni e affidabilità richieste nelle applicazioni di sputtering a doppio magnetron.
Con il progredire delle tecniche di produzione, i nuovi materiali e nuovi configurazioni dei catodi pongono maggiori sfide alla stabilità del processo e alla ripetibilità del film. Gli alimentatori Ascent® AMS offrono una potenza stabile e ripetibile, indipendentemente dal materiale di processo o dalla configurazionedel catodo. AMS fornisce una gestione avanzata dell’arco, che consente la massima erogazione di potenza con un recupero estremamente rapido a beneficio del processo.
Estrema rapidità di recupero significa anche energia estremamente bassa erogata attraverso gli archi, evitando danni al substrato.
Per applicazioni ad alta potenza, Ascent AMS può essere utilizzato in configurazione primaria / secondaria. Le applicazioni comuni includono configurazioni di uscita superiori a 100 kW. Tuttavia ,il sistema di raffreddamento combinato acqua / aria riduce al minimo l’ingombro del generatore.