Rete di adattamento NAVIGATOR II
Rapida, accurata e affidabile rete di adattamento digitale.
Descrizione
La rete di adattamento Navigator abbina la tecnologia digitale di tipo avanzato e velocizza la sintonizzazione e i tempi di risposta.
- Metodologia e controllo del plasma RF “leader di mercato”
- Controllo del pulsaggio avanzato con capacità di sintonizzazione automatica
- Analisi senza precedenti del plasma con Z’Scan II integrato
Panoramica
Navigator® II è equipaggiato di motori passo-passo controllati da microprocessore e controllati da algoritmi di sintonizzazione avanzati, che consentono di ottimizzare la potenza RF.
Un sensore RF Z’Scan® II interno opzionale fornisce analisi in tempo reale della potenza del processo e dell’impedenza, consentendo di identificare rapidamente e ridurre significativamente la variabilità del processo.
Il software opzionale Virtual Front Panel è disponibile per il monitoraggio e il controllo attraverso il computer dell’utente.
CARATTERISTICHE
- Architettura digitale con algoritmi di sintonizzazione rapida basati su modelli
- Erogazione di potenza RF a impulsi
- Funzionamento della frequenza di scansione
- Immunità alle distorsione di intermodulazioni (IMD) per applicazioni a più frequenze
- Misurazione della potenza di processo e dell’impedenza in tempo reale
