Litmas RPS
Sorgente remota al plasma e sistema di erogazione di potenza che consente l’abbattimento dei gas di scarico.
Descrizione
Litmas è una sorgente di plasma remoto all-in-one che combina l’alimentazione, la rete di adattamento LitmasMatch™ e la camera al plasma in un unico chassis compatto.
- Soluzione di riduzione del punto di utilizzo a ingombro ridotto
- Abbattimento altamente affidabile ed efficace con utilizzo minimo delle utenze
- Minori costi di proprietà rispetto alle soluzioni della concorrenza
Panoramica
Il sistema Litmas® Remote Plasma Source (RPS) offre alte concentrazioni di specie reattive di gas per consentire un abbattimento dei gas fluorurati.
Le sue soluzioni a ingombro ridotto, prestazioni elevate, facilità d’uso e basso costo ne fanno una scelta indispensabile per le nuove installazioni o l’adeguamento dei sistemi esistenti di abbattimento.
CARATTERISTICHE
- Elimina le emissioni di gas serra
- Fornisce la massima densità di potenza al plasma disponibile
- Utilizza materiali resistenti in camera SiO2 o Al2O3
- Utilizza il generatore di potenza a stato solido brevettata LitmasMatch™
- Integra l’alimentatore, la rete di adattamento e la camera del plasma in un unico pacchetto
